光刻机唯一上市公司苏大维格

资本市场近期的热议焦点，围绕着光刻机技术展开。张江高科等多股因“光刻机”概念持续上涨，市场情绪热烈。

9月14日，苏大维格在互动易平台上对光刻机相关问题进行了回应，使“纳米压印”概念迅速受到市场关注。午后，苏大维格股价出现显著增长，达到了20%的涨停。

苏大维格公司透露，其光刻机产品已成功销往国内领先的芯片企业，并出口至日本、韩国及以色列等。公司为芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。具体而言，其光刻机产品为激光直写光刻机，主要用于掩膜版的制造，替代传统的铬玻璃掩膜版。

在与非网副主编夏珍的交流中，记者了解到激光直写光刻机在制造技术上的优势。夏珍解释道，这种光刻机具备高灵活性，与普遍认知中的光刻机存在差异。

紧接着，深交所向苏大维格发出关注函，要求其详细披露光刻设备的具体类型、主要客户及销售情况，并核实技术参数与业内龙头厂商的差距。而苏大维格也详细解释了其光刻机的类型、主要客户及销售情况，并坦诚地指出了公司在技术上的不足与持续投入的必要性。

除了激光直写光刻机的销售信息外，苏大维格还提到了“纳米压印”技术。在回应关于纳米压印技术是否可能替代EUV光刻机的询问时，公司表示正在积极探索这一技术的可能性，并透露了佳能等国际厂商也在研究这一方向。苏大维格也指出，其公司的纳米压印设备主要供内部使用，对外销售的光刻机仍以激光直写光刻机为主。

对于纳米压印技术的具体用途和研况，深交所也要求苏大维格进行详细说明。夏珍进一步解释了纳米压印技术的特点和应用前景。她指出，该技术与传统的基于光学的曝光机有所不同，具有设备成本低、能耗低等优势。目前，基于纳米压印技术的设备正处于量产评价阶段，但已实现10+nm的技术水平，未来有望进一步拓展至5nm。